摘要：隨著半導(dǎo)體工藝的發(fā)展，半導(dǎo)體設(shè)備在生產(chǎn)過程中也越來越復(fù)雜，需要更加高效和精確的清洗。本文將介紹半導(dǎo)體設(shè)備parts清洗——清潔半導(dǎo)體設(shè)備必備的幾條知識，包括清洗劑的選擇、清洗方式、清洗前的準(zhǔn)備工作等。同時(shí)，巴洛仕集團(tuán)也會在正文中給出一些建議，以幫助讀者更好地實(shí)踐清洗實(shí)踐。正文：清洗劑的選擇半導(dǎo)體設(shè)備的清洗劑需