摘要半導(dǎo)體設(shè)備自動(dòng)清洗機(jī)是自動(dòng)化清洗領(lǐng)域的新利器，它可以高效地完成半導(dǎo)體設(shè)備的清洗工作，大大提高了清洗效率、降低了成本，并且減少了清洗過程中的人為干擾。本文從設(shè)備優(yōu)勢(shì)、清洗原理、技術(shù)特點(diǎn)、應(yīng)用前景等幾個(gè)方面深入詳細(xì)地介紹了這一裝置，同時(shí)運(yùn)用清洗行業(yè)專業(yè)的分